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液氮在半导体制造上的应用

发布日期: 2022-08-23 内容来源于:苏州威德杰超低温制冷设备有限公司

1、在氧化、扩散等制造工艺过程中,设置液氮冷阱来去除气体中的水分


2、在扫描电子显微镜中,检测信号用的Si-Li探测器,必须一刻不离地采用液氮来冷却。


3、有时为了检测元器件冷热循环作用的影响效果,可采用液氮。

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